| 型号 | L2120 | L2130 | L2140 | L2150 | L2160 | L2170 |
| 视野 (mm) | 19-23 | 43-73 | 92-161 | 148-285 | 277-569 | 500-1410 |
| 安装距离 (mm) | 52 | 65 | 162 | 291 | 360 | 350 |
| 测量范围 (mm) | 28 | 90 | 203 | 408 | 485 | 842 |
| X方向分辨率(μm) | 13.1-15.8 | 29.6-50.2 | 63.2-110.6 | 101.6-195.8 | 190.2-390.8 | 343.4-968.4 |
| Z方向分辨率(μm) | 2.0-3.0 | 5.4-15.8 | 10.9-34.3 | 18.7-72.4 | 42.5-178.3 | 63.5-481.1 |
| 重复精度(Z轴)（μm） | 0.5 | 1 | 1.2 | 1.8 | 6 | 10 |
| 线性精度(Z轴)(+/-% of MR) | 0.01% | 0.01% | 0.01% | 0.01% | 0.05% | 0.05% |
| 激光波长(nm) | 405 | 405 | 405 | 405 | 405 | 660 |
| 扫描速度(Hz) | 270-5000 | 270-5000 | 270-5000 | 270-5000 | 270-5000 | 270-5000 |
