| 型号 | L2220 | L2230 | L2240 | L2250 |
| 视野 (mm) | 27-33 | 48-72 | 92-165 | 147-291 |
| 安装距离 (mm) | 65 | 67 | 156 | 274 |
| 测量范围 (mm) | 30 | 68 | 186 | 356 |
| X方向分辨率(μm) | 13.0-16.5 | 23.4-34.8 | 44.8-80.8 | 72.0-142.3 |
| Z方向分辨率(μm) | 2.0-3.3 | 3.4-7.4 | 8.6-28.0 | 15.1-58.7 |
| 重复精度(Z轴)（μm） | 0.4 | 0.8 | 1.0 | 1.5 |
| 线性精度(Z轴)(+/-% of MR) | 0.01% | 0.01% | 0.01% | 0.01% |
| 激光波长(nm) | 405 | 405 | 405 | 405 |
| 扫描速度(Hz) | 240-6000 | 240-6000 | 240-6000 | 240-6000 |
